硅微体刻蚀加工和硅微面刻蚀加工的区别在于( )。
A
体刻蚀加工对基体材料进行加工,而面刻蚀加工不对衬底材料进行加工
B
体刻蚀加工不对基体材料进行加工,而面刻蚀加工对衬底材料进行加工
C
体刻蚀加工可获得高纵横比的结构,而面刻蚀加工只能获得较低纵横比的结构
D
体刻蚀加工可获得低纵横比的结构,而面刻蚀加工只能获得较高纵横比的结构

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